arkadaşlar aşağıdaki kodları .htaceess eklediğimde internal server hatası veriyor.bu kodlarda yanlış olan yer neresi.sayıgılar

RewriteEngine On
RewriteRule ^(.*?).htm$ cat.php?seo=$1 [NC]
RewriteRule ^(.*?).htm?page=(.*?)$ cat.php?page=$2 [NC]
RewriteRule ^watch/(.*?)$ wat.php?vid=$1 [NC]
RewriteRule ^(.*?)_e.html$ tags.php?tag=$1 [NC]