bakmışsınızdır ama yine de linki atayım:
https://support.google.com/adsense/answer/16737?hl=tr

bunun haricinde en önemli sebeplerden biri reklam yerleşimi olabilir. içerik ile reklam aralarına 15px gibi gap veya margin eklerseniz faydası olur.

bende %0,34 oranında geçersiz tıklama oluyor. okuyunca baktım, normalde bakmıyorum.