Ben ne kadar servis varsa o kadar kaynak tüketimi olacağı anlayışındayım.
O yüzden 3lü kombinasyonlar tercih ederim.

1. Apache2.4 (mod_php) + Varnish 4 + xcache veya opcache
2. Nginx (PHP-FPM) + Varnish 4 + opcache

Apache Reverse Proxy olarak Nginx kullanmayı tavsiye etmiyorum. Hem kaynak kullanımını artıracak hemde tepki süresini uzatacaktır. Apache zaten iyi optimize edilmediğinde zaten hantallaşıyoruz, yanıt süresi sonunda Proxy çalışan nginx de hata kodlarının dönmesine neden olabilir.

1. sırada ki bileşenler iyi iş görüyor. Lakin burada ki anormal durum şu. Varnishin çok RAM tüketmesi. RAM kapasitesi varnish den ayarlansa bile varnish bu kez anlamını yitirmiş oluyor maalesef.

Eğer wordpress üzerinden HTML Render yapılarak bir ön bellek eklentisi kullanılıyor ise NGINX daha sağlıklı çalışıyor. Hem resim, css ve JS dosyalarının Streaming yapılması hemde html olarak çıktıların buffer edilmesi daha düşük bir CPU kullanımına neden oluyor.

Yukarıda bahsettiğim şekilde wordpress + cache eklentisi ile aşağıda ki bileşenlerden de iyi sonuçlar alınabilir.
3. NGINX(PHP-FPM) + opcache
4. Apache(mod_php) + xcache

Açtığınız konu çok güzel ve faydalı bilgiler üretecek türden, o yüzden konunuzu takip ediyor olacağım.