Şu şekilde düzenleyin ayarları.

Alıntı
StartServers 6
MinSpareServers 6
MaxSpareServers 12
ServerLimit 100
MaxClients 100
MaxRequestsPerChild 100

timeout suresi 30
keep alive timeout degeri ise 5
Ek olarak xcache yada apc cache ile php yükünü bir miktar düşürebilirsiniz.
Ayrıca cpu kullanımının bu durumda yüksek olması, büyük oranda scriptiniz ile ilgili, boş html bir sayfaya anlık 100 istek açın cpu kullanımı daha minimum bir değerde seyredecektir. Tabiki kullandığınız vps in cpu hakkıda önemli, tek core dan bir performans beklemeyin, ayrıca ana makina üstünde çok sayıda vps varsa size kalan cpu hakkıda o oranda az olacaktır.