ReWriteRule ^S_cache/dosya.xml$ dosya.php [L,NC]
bu şekilde S_cache/dosya.xml dosyasını anadizindeki dosya.php dosyası olarak gösterebilirsin yani site.com/S_cache/dosya.xml yolu ile site.com/dosya.php aynı kapıya varacaktır.

yıkarıda verdiğin kod çalışması için bir tane S_cache kalsoru oluşturmalısın ve chmod 777 olmalı